真空鍍膜機通常由真空室、蒸發(fā)源、濺射源、控制系統(tǒng)等組成。在操作過程中,將待處理物體放入真空室中,并將真空室抽成高真空狀態(tài)。然后,通過加熱蒸發(fā)源或施加電場等方式,將金屬或其他材料蒸發(fā)或濺射到待處理物體的表面。同時,通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)溫度、壓力等參數(shù),以控制薄膜的厚度、均勻性等性能。
蒸發(fā)源是將材料加熱至其熔點或沸點,使其蒸發(fā)到基材上形成薄膜的裝置。濺射源則是通過在材料表面轟擊高能粒子,使其濺射出來,并沉積在基材上。離子源則通過離子轟擊基材表面,使其表面活化并提高薄膜質(zhì)量。
蒸發(fā)真空鍍膜機是一種用于在物體表面形成薄膜的機械設(shè)備。它通過將材料加熱至高溫,使其蒸發(fā)成為氣體,然后在真空環(huán)境中進(jìn)行沉積,形成薄膜。蒸發(fā)鍍膜機通常由以下幾個部分組成:
1. 蒸發(fā)源:用于加熱材料至高溫并將其蒸發(fā)成氣體。常見的蒸發(fā)源包括電子束、電阻加熱器和電弧等。
2. 沉積室:提供真空環(huán)境,防止蒸發(fā)材料與空氣發(fā)生反應(yīng)。通常通過泵將沉積室抽成高真空狀態(tài)。
3. 襯底臺:用于放置待鍍膜物體的平臺??梢愿鶕?jù)需要進(jìn)行旋轉(zhuǎn)或傾斜,以獲得均勻的薄膜沉積。
4. 控制系統(tǒng):用于控制蒸發(fā)源的加熱功率、真空度和沉積時間等參數(shù),以確保薄膜的質(zhì)量和均勻性。