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愛德華EXT75DX24V
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Edwards EXT 75DX 24V渦輪分子式高真空泵，帶ISO100 LF100進(jìn)樣口。泵的泵送速度為66升/秒（l / s），最終壓力為5x10-9 Torr。Edwards EXT 75DX 24V渦輪分子泵，帶ISO100進(jìn)氣口和ISO KF-16排氣前級(jí)法蘭。Edwards EXT 75DX 24V渦輪分子泵轉(zhuǎn)速為90000 rpm，對(duì)應(yīng)的控制器為： Edwards ?TIC100
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