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有些真空鍍膜機真空計的讀數(shù),與氣體種類有關(guān),比如熱偶計,電離真空計。選用適當(dāng)?shù)臍怏w或液體做示漏物質(zhì),這些真空計便成了探測器,一般鍍膜機上都有真空計,使用起來很方便,也是常用到的一種檢漏方法。用于熱偶計的示漏物質(zhì)有,二氧化碳,丁烷,酒精等熱偶計反應(yīng)較慢,觀察要很仔細(xì)。用于電離計的示漏物質(zhì)有氦,氬,酒精等。
真空系統(tǒng)是鍍膜機達(dá)到工藝條件的基本設(shè)備,其真空度達(dá)不到或者達(dá)到真空度速度慢,都有可能是由于存在漏點所致,所以真空卷繞鍍膜機設(shè)備的真空系統(tǒng)需要定期真空檢漏。真空卷繞鍍膜機通常采用氦質(zhì)檢漏儀來查漏,主要用負(fù)壓法檢漏即將氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏口接入鍍膜機的真空系統(tǒng),在可能泄漏地方噴氦檢漏。
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蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。 對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,終形成薄膜。
真空鍍膜機為什么會越來越慢這種情況有兩種可能
1、設(shè)備內(nèi)部由于長時間鍍膜導(dǎo)致有些臟東西在加熱時放氣,所以這種情況需要維護,即把內(nèi)部屏蔽板拆下噴砂或脫膜,清理。
2、由微小的滲漏,沒有發(fā)現(xiàn),尤其是各個傳動部位密封,這種情況就是比較難查,如果沒有檢漏儀,就只能一部分一部分拆卸或用盲板逐步替換予以排除。也有人用注射針頭注射酒精觀察真空計的變化檢查,但一般漏的不大時不好判斷,至于你說的真空1.9的那個其實也并不高,還有就是漏率是按照你的設(shè)備體積以及單位時間的真空下降程度來算的不是按照真空值計算的,比如你的真空泵抽速好,抽氣能力強就有可能克服微漏而使真空顯示較高的數(shù)值。
真空鍍膜設(shè)備應(yīng)用十分廣泛,如今在我們的生活中到處可見,是的一項技術(shù)。但是真空鍍膜設(shè)備在使用一段時間后,表面就會留下灰塵影響真空鍍膜的整體效果。
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